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SAL-3000Plus ALD原子层沉积系统

分类 AGUS ALD-原子层沉积系统
型号 SAL-3000Plus
品牌 AGUS
产地 日本,进口

产品简介

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SAL-3000Plus ALD原子层沉积系统

 

        SAL3000Plus是一款可拓展型的ALD原子层沉积系统,可通过连接STR2000转移单元,与退火设备SAN2000Plus,镀膜设备,SVE2000Plus蒸镀设备,SSP2000Plus/SSP3000Plus磁控溅射设备搭配;

SAL3000pLUS.pngSAL-3000pus+转移仓.png

              SAL-3000Plus                                  SAL3000-Plus+STR2000+SAN2000Plus

性能及特点:

1.镀膜质量高

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    · 膜厚均匀性≤3% @ 100mm

    · 对于内孔、凹槽与高深宽比结构具有良好的沉积均匀性;

    · 膜厚可准确控制达一个原子层;

    · 大面积制程可达到无孔洞薄膜(Pin Hole free)

    · 极高的重复性及稳定性

    · 材料缺陷密度低

    · 可成长非晶型或结晶薄膜(选择温度)

2.两种成膜方向可选

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· 可选择将薄膜沉积在基底上表面和基底下表面,薄膜沉积在基底下表面可降低颗粒附着基底的风险。

3. 可通过STR2000与其它Plus系列设备串联

4.最多可搭载6路前驱体

5.优异的真空性能:真空度≤5Pa

6.图形用户界面,触控操作,简单易用,可存储30多种镀膜方案

7.与SAL3000相比,宽度减少了40%

6. 可搭配多种配件:

干式真空泵,臭氧发生器,尾气处理装置,800℃基底加热器,200℃前驱体加热器等,退火设备等;

 

 

SAL3000pLUS配件.gif

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