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MILA-700AR风冷桌面型快速退火炉
分类 Advance Riko 红外金面反射炉
型号 MILA-700AR
品牌 Advance Riko
产地 日本，进口

产品简介

 

MILA-700AR风冷桌面型快速退火炉

 

MILA-700AR是一款风冷桌面型的快速退火炉。相较于MILA-5000，该设备加热过程中不需要外接水冷，可由设备自身配置的风冷系统进行降温。

 

应用

特点：

1. 晶圆，复合晶圆的快速加热

1. 50°C / s快加热

2. 光化学气相沉积衬底加热

2. 可在真空，惰性气体，流动气氛，空气的气氛下进行加热

3. 热循环测试

3. 精确的温度控制

4. 涂膜的耐热性评估

 4. 紧凑的台式设计，工作无需匹配水冷循环系统

5. 有机材料和树脂的加热和干燥

  

 

参数

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