产品简介
应用案例
* 零膨胀材料的研制
* 负极负热膨胀材料的研制
* 标准材料开发
* 致动器材料的开发
用途
* 10-9/K级极低膨胀系数材料（玻璃，陶瓷，金属等）的高精度热膨胀测量
* 半导体生产装置光学曝光元件的测量
* 测量精密载物台零件
* 航空航天相关高精度所需材料的测量
* 高精度光图基板构件的测量
* 低膨胀系数材料的质量控制
* 标准热膨胀仪校准样品的测量
特点
* 通过在设备中包括振动消除机构，可以防止振动扰动的影响，并且可以在能够稳定使用普通电子天平（0.01毫克分辨率）进行分析的环境中进行测量。（日本专利：2016-058190、058191、058192）
* 测量样品相对于激光波长（632.8 nm）的位移量。集成光学元件可以消除杂散光，提高干涉条纹信号的 信噪比。不需要特殊位移校准的测量和操作。
* 通过用图像传感器检测干涉条纹并对其进行图像处理，即使在样品测量过程中，也可以以高分辨率（1纳 米）计算位移（膨胀/收缩）量，并确认膨胀系数。
* 符合JIS R3251-1990标准
设备参数
应用实例
