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LaserPit光交流法·薄膜热导仪
分类 LaserPit光交流法·薄膜热导仪
型号 LaserPit
品牌 LaserPIT
产地 日本，进口

产品简介

本装置采用扫描激光加热交流法测量薄膜，薄板，薄膜等薄板材料的面内方向热扩散率。
对于高导热膜，亚微米薄膜的测量也是可能的。
 
用途
• CVD金刚石，氮化铝等高热导率薄板（厚度<500μm）的热扩散系数/热导率测量
• 铜、镍、不锈钢等各种金属薄板（厚度>5μm）的热扩散率/热导率测量
• 玻璃和树脂材料等低热导率薄板材料（厚度<500μm）的热扩散率/热导率测量
• 具有各向异性的高热导率石墨片（厚度）<100μm)、聚合物薄膜，如聚酰亚胺和PET（厚度>5μm）的热扩散率/热传导率测量
• 在玻璃基板（厚度为30μm）上形成的氮化铝薄膜和氧化铝薄膜（厚度为100-300nm）的热导率测量
• 玻璃基板（厚度0.03 mm）上形成的DLC薄膜（厚度>1μm）的热导率测量
• PET基片（厚度0.1 mm）上形成的有机染料薄膜（厚度100～300 nm）的热导率测量
• 溅射用各种靶材的评价
 
*测量条件随材料和物理性质值而变化。记载的条件是目标。
 
特长

• 从金刚石到聚合物的宽范围薄板材料的面内方向热扩散系数测量
• 适用于厚度为3至500μm的自支撑片材、薄膜、线材和纤维等多种材料形式
• 可以通过差示法测量在衬底上形成的100nm至1000nm厚的薄膜的热导率　*仅在室温下
• 易于测量
• 通过专用软件进行控制、测量和分析
• 机身将所有光学、控制、测量系统紧凑地一体化

 
参数
 
型式 LaserPIT-R LaserPIT-M2
温度范围 RT RT ～ 200℃
交流电源 激光二极管（685nm，30mW）
样品尺寸

自支撑薄板:宽2.5-5mm×长30mm×3-500μm厚

基片上的薄膜:宽2.5至5mm×长30mm×厚100nm至1000nm
测量周期 0.05 ～ 10/s
原理图 真空中

 

 
原理图
 
 
 
配置
薄膜热导率的测量方法（示差法）
LaserPIT使用玻璃基板来测量薄膜的热导率。通过只在1个玻璃基板的半表面成膜薄膜的方法，测量玻璃基板的成膜区域和非成膜区域。
根据“两个区域的测量结果”“玻璃基板的厚度和体积比热容”“薄膜的厚度和体积比热容”来评估薄膜的热导率。
 

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